等离子抛光机是一种利用低温等离子体实现材料表面精密加工的设备,其结构由真空腔体、电极系统、气体供给系统、电源与控制系统、冷却系统五大部分构成。
设备主体为密封真空腔体,由不锈钢或铝合金制成,配备真空泵组维持10⁻²-10⁻³Pa的工作环境。腔体内置平行板式或射频线圈式电极系统,其中射频电源(13.56MHz)或微波电源(2.45GHz)通过阻抗匹配器向电极输出高频电能。气体供给系统通过质量流量计控制气、氧气或混合气体的输入比例,气体在强电场作用下电离形成等离子体。温度敏感的工艺需配备水冷或液氮冷却系统,确保腔体温度稳定在50-200℃区间。
工作原理遵循物理-化学协同抛光机制:在真空环境下,工作气体经高频电场电离产生包含电子、离子、活性基团的等离子体。高能粒子(电子温度可达2-5eV)轰击工件表面,通过动量传递使表层原子脱离(物理溅射);同时活性氧自由基与金属发生氧化反应,生成易挥发的金属氧化物(化学刻蚀)。这种原子级去除方式能消除0.1-1μm级的表面凸起,配合工件的三维旋转机构,可实现复杂曲面的亚纳米级粗糙度加工。工艺参数需调控,气体压强(10-100Pa)、功率密度(0.5-5W/cm²)、处理时间(5-60分钟)共同决定终抛光效果。
该技术突破了传统机械抛光局限,特别适用于航空航天精密部件、和微电子元件的超精密加工,材料去除率可达0.1-5μm/h,表面粗糙度可优化至Ra<5nm,同时避免机械应力损伤,成为硬脆材料和微结构器件表面处理的工艺。
等离子抛光机凭借其基于电化学与等离子体反应的工作原理,对金属材质的适应性较广,尤其适用于导电性良好、表面需高精度光洁处理的金属及合金。不锈钢毛细管等离子抛光设备
适用金属材质(按类别划分)
1. 不锈钢系列(应用广泛)
常见型号:304、316、316L、430 等奥氏体 / 马氏体不锈钢。
适配原因:不锈钢表面易形成钝化膜,等离子抛光可通过控制氧化与侵蚀速率,去除表面毛刺、划痕的同时,强化钝化膜稳定性,提升耐腐蚀性与镜面效果。
典型应用:器械(手术剪刀、止血钳)、食品级五金(餐具、保温杯内胆)、电子配件(传感器外壳、连接器)。
不锈钢毛细管等离子抛光设备
等离子不锈钢抛光机的抛光效果在行业内处于较高水平,尤其针对不锈钢材质的表面精处理,能实现 “高精度、高光泽、无损伤” 的需求。
表面光洁度:可达镜面级效果
对于 304、316 等常用不锈钢材质,经等离子抛光后,表面粗糙度(RMS)可低至0.01 微米,粗糙度(Ra)通常能控制在0.02-0.05 微米,远超传统机械抛光(Ra 一般 0.1-0.8 微米)。
视觉上可呈现均匀的镜面反射效果,无划痕、麻点、雾感等瑕疵,尤其适合对外观要求极高的产品(如不锈钢卫浴、手机金属中框、珠宝首饰配件等)。
即使是工件的深孔(孔径≥0.5mm)、螺纹槽、异形拐角等 “机械抛光死角”,等离子体也能通过电化学反应均匀作用,实现全表面无差别光洁度,避免局部粗糙或抛光不到位的问题。
不锈钢毛细管等离子抛光设备
您好,欢迎莅临八溢,欢迎咨询...
![]() 触屏版二维码 |